Radioelektronikos terminų žodynas. – Vilnius : BĮ UAB „Litimo“. Kazimieras Gaivenis, Gytis Juška, Vidas Kalesinskas. 2000.
Plasma-Ätzen — Plasmaätzen ist ein materialabtragendes, plasmaunterstütztes, gaschemisches Trockenätz Verfahren, das besonders in der Halbleitertechnik, Mikrostrukturtechnologie und in der Displaytechnik großtechnisch eingesetzt wird. Der Begriff Plasmaätzen… … Deutsch Wikipedia
Plasmaätzen — ist ein materialabtragendes, plasmaunterstütztes, gaschemisches Trockenätz Verfahren, das besonders in der Halbleiter , Mikrosystem und Displaytechnik großtechnisch eingesetzt wird. Der Begriff Plasmaätzen ist ein eher umgangssprachlicher Begriff … Deutsch Wikipedia
RIE-Prozess — Plasmaätzen ist ein materialabtragendes, plasmaunterstütztes, gaschemisches Trockenätz Verfahren, das besonders in der Halbleitertechnik, Mikrostrukturtechnologie und in der Displaytechnik großtechnisch eingesetzt wird. Der Begriff Plasmaätzen… … Deutsch Wikipedia
Klimagas — Entwicklung des Anteils von Treibhausgasen in der Erdatmosphäre seit den 1970er Jahren … Deutsch Wikipedia
Klimagase — Entwicklung des Anteils von Treibhausgasen in der Erdatmosphäre seit den 1970er Jahren … Deutsch Wikipedia
Treibhausgas — Entwicklung des Anteils von Treibhausgasen in der Erdatmosphäre seit 1978 bzw. 1979 … Deutsch Wikipedia
Treibhausgase — Entwicklung des Anteils von Treibhausgasen in der Erdatmosphäre seit den 1970er Jahren … Deutsch Wikipedia
Anti-Helium — Strukturformel Allgemeines Name Schwefelhexafluorid Andere Namen Schwefel(VI) fluorid … Deutsch Wikipedia
Antihelium — Strukturformel Allgemeines Name Schwefelhexafluorid Andere Namen Schwefel(VI) fluorid … Deutsch Wikipedia
Fluormethan — Strukturformel Allgemeines Name Fluormethan Andere Namen … Deutsch Wikipedia
